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光刻技術(shù)(Lithography Technology)：光刻一種精密的微細(xì)加工技術(shù)。常規(guī)光刻技術(shù)是采用紫外光作為圖像信息載體，以光致抗光刻技術(shù)蝕劑為中間（圖像記錄）媒介實(shí)現(xiàn)圖形的變換、轉(zhuǎn)移和處理，最終把圖像信息傳遞到晶片(主要指硅片)或介質(zhì)層上的一種工藝。

鍍膜工藝---Coating Technology：是指在真空條件下，采用物理轟擊或者化學(xué)反應(yīng)的方法將材料（俗稱靶材或膜料）沉積在整個(gè)基材表面的一種技術(shù)。

電鍍工藝是基材種子層光刻后，利用電解的原理，在露出金屬的表面上，生長上一層金屬或合金的過程，該工藝可以用來制作厚的導(dǎo)電層。

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