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產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品介紹
3英寸 科研襯底 晶圓片單面拋光硅片 高純度單晶硅
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產(chǎn)品名稱：3英寸二氧化硅拋光硅片(SjO2)
生長方式：直拉單晶（CZ）熱氧化工藝
直徑與工差：76.2±0.4mm
摻雜類型：N型（摻磷 ， 砷 ， 銻） P型（摻硼）
晶向：<111><100>
電阻率： 0.001-50(Ω?cm) 可按客戶要求定制
工藝數(shù)據(jù)：平整度TIR:<3μm 、 翹曲度TTV: <10μm 、彎曲度BOW< 10μm 、粗糙度<0.5nm、顆粒度< 10 (for size > 0.3μm)
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產(chǎn)品名稱：3英寸二氧化硅拋光硅片(SjO2)
生長方式：直拉單晶（CZ）熱氧化工藝
直徑與工差：76.2±0.4mm
摻雜類型：N型（摻磷 ， 砷 ， 銻） P型（摻硼）
晶向：<111><100>
電阻率： 0.001-50(Ω?cm) 可按客戶要求定制
工藝數(shù)據(jù)：平整度TIR:<3μm 、 翹曲度TTV: <10μm 、彎曲度BOW< 10μm 、粗糙度<0.5nm、顆粒度< 10 (for size > 0.3μm)
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